Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01

Библиографическая информация
Главный автор: Любимский, Владимир Михайлович
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Новосибирск [б. и.] 2005
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы