Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10

Bibliographic Details
Main Author:	Троицкий, Вячеслав Юрьевич
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М. 1996
Subjects:	Физика полупроводников и диэлектриков авторефераты диссертаций.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01393nam a2200241 4500
001	vtls000036141
003	RU-ToGU
005	20230319140923.0
008	091028 1996 ru m 00\| \| rus d
035			\|a 0038-31760
039		9	\|a 200910282104 \|c 200601031216 \|d VLOAD \|y 200511052359 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU \|e PSBO
100	1		\|a Троицкий, Вячеслав Юрьевич. \|9 125436
245	1	0	\|a Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками \|b Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
260			\|a М. \|c 1996 \|9 702824
300			\|a 25 с.
504			\|a Библиогр.: с. 24-25
650		7	\|a Физика полупроводников и диэлектриков \|2 БВАК1995N4 \|9 56418
653			\|a авторефераты диссертаций.
852	4		\|a RU-ToGU \|h 1-820975к \|i 53 \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=20902
999			\|c 20902 \|d 20902
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 1820975К \|7 0 \|9 60436 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2021-04-02 \|l 0 \|o 1-820975к \|p 13820000233974 \|r 2021-04-02 \|t 1 \|w 2021-04-02 \|y 1

Similar Items