Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10

Bibliographic Details
Main Author: Троицкий, Вячеслав Юрьевич
Format: Book
Language:Russian
Published: М. 1996
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01393nam a2200241 4500
001 vtls000036141
003 RU-ToGU
005 20230319140923.0
008 091028 1996 ru m 00| | rus d
035 |a 0038-31760 
039 9 |a 200910282104  |c 200601031216  |d VLOAD  |y 200511052359  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
100 1 |a Троицкий, Вячеслав Юрьевич.  |9 125436 
245 1 0 |a Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками  |b Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10 
260 |a М.  |c 1996  |9 702824 
300 |a 25 с. 
504 |a Библиогр.: с. 24-25 
650 7 |a Физика полупроводников и диэлектриков  |2 БВАК1995N4  |9 56418 
653 |a авторефераты диссертаций. 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-820975к  |i 53  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=20902 
999 |c 20902  |d 20902 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1820975К  |7 0  |9 60436  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |l 0  |o 1-820975к  |p 13820000233974  |r 2021-04-02  |t 1  |w 2021-04-02  |y 1