Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10

Bibliographic Details
Main Author: Троицкий, Вячеслав Юрьевич
Format: Book
Language:Russian
Published: М. 1996
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items