Карбид кремния на кремнии (110): структура поверхности и механизмы эпитаксиального роста

Карбид кремния на кремнии (110): структура поверхности и механизмы эпитаксиального роста

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 56, № 12. С. 106-111
Corporate Author: Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников
Other Authors: Никитина, Лариса Николаевна, Эрвье, Юрий Юрьевич, Suemitsu, Maki, Филимонов, Сергей Николаевич, Sambonsuge, Shota
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
карбид кремния
кремний
гетероэпитаксия
полупроводники
поверхностная энергия
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000470578
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Similar Items