Ионная имплантация в металлы

Bibliographic Details
Main Author:	Комаров, Фадей Фадеевич
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Металлургия 1990
Subjects:	технологии. радиотехника. физика твердого тела. микроэлектроника. ядерная энергетика. ионная имплантация. полупроводники. металлы. релаксация. сечение упругого рассеяния. ионное облучение.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01620nam a2200385 c 4500
001	vtls000551998
003	RU-ToGU
005	20240529171552.0
008	161130s1990 ru a f b 000 0 rus
020			\|a 5229003421
035			\|a to000551998
039		9	\|a 201611300839 \|b 100 \|c 201611300810 \|d cat20 \|y 201611300810 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU \|e PSBO
080			\|a 621.382.049.77.002
084			\|a 47.13.11 \|2 rugasnti
100	1		\|a Комаров, Фадей Фадеевич \|9 150087
245	1	0	\|a Ионная имплантация в металлы \|c Ф. Ф. Комаров
260			\|a Москва \|b Металлургия \|c 1990 \|9 701730
300			\|a 216 с. \|b ил.
504			\|a Библиогр.: с. 202-216
653			\|a технологии.
653			\|a радиотехника.
653			\|a физика твердого тела.
653			\|a микроэлектроника.
653			\|a ядерная энергетика.
653			\|a ионная имплантация.
653			\|a полупроводники.
653			\|a металлы.
653			\|a релаксация.
653			\|a сечение упругого рассеяния.
653			\|a ионное облучение.
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=221800
999			\|c 221800 \|d 221800
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 1727361 \|7 0 \|9 417621 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2021-04-04 \|g 2.70 \|l 0 \|o 1-727361 \|p 13820000936238 \|r 2021-04-04 \|w 2021-04-04 \|y 4

Similar Items