Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Советское радио
1978
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника"
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |