|
|
|
|
| LEADER |
03575nam a2200601 i 4500 |
| 001 |
vtls000350144 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20230319173058.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
121204s1978 ru a fsb 000 0 rus d |
| 035 |
|
|
|a to000350144
|
| 039 |
|
9 |
|a 201609231822
|c 201212041739
|d VLOAD
|c 201212041522
|d VLOAD
|c 201208271900
|d VLOAD
|y 200904081359
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002.3
|
| 080 |
|
|
|a 621.315.5:538.9
|
| 100 |
1 |
|
|a Палатник, Лев Самойлович.
|9 178639
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Материаловедение в микроэлектронике
|c Л. С. Палатник, В. К. Сорокин
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b Энергия
|c 1978
|9 701910
|
| 300 |
|
|
|a 277, [2] с.
|b ил.
|
| 490 |
1 |
|
|a Электронное материаловедение
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 268-278
|
| 530 |
|
|
|a Доступна электронная версия
|b Получено из INTERNET
|
| 538 |
|
|
|a Систем. требования: djvu Plug-in for brausers
|
| 540 |
|
|
|a " ...пользование допускается без согласия автора или иного правообладателя и без выплаты вознаграждения. При этом выраженные в цифровой форме экземпляры произведений, предоставляемые библиотеками во временное безвозмездное пользование ... могут предоставляться только в помещениях библиотек при условии исключения возможности создать копии этих произведений в цифровой форме" (Гражданский кодекс РФ, ч. 4).
|
| 653 |
|
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
|
|
|a материалы электронной техники
|
| 653 |
|
|
|a полупроводники
|
| 653 |
|
|
|a металлы
|
| 653 |
|
|
|a диэлектрики
|
| 653 |
|
|
|a адсорбция
|
| 653 |
|
|
|a поверхности газов
|
| 653 |
|
|
|a поверхности паров
|
| 653 |
|
|
|a диффузия
|
| 653 |
|
|
|a примеси
|
| 653 |
|
|
|a пленочные материалы
|
| 653 |
|
|
|a резистивные пленки
|
| 653 |
|
|
|a эпитаксиальные пленки
|
| 653 |
|
|
|a твердые тела
|
| 653 |
|
|
|a физика поверхности
|
| 653 |
|
|
|a поверхности раздела
|
| 653 |
|
|
|a атомное строение
|
| 653 |
|
|
|a дефекты кристаллов
|
| 653 |
|
|
|a материаловедение вакуумное
|
| 653 |
|
|
|a планарные технологии
|
| 655 |
|
4 |
|a монографии
|9 879346
|
| 700 |
1 |
|
|a Сорокин, Вадим Константинович
|9 302778
|
| 830 |
|
0 |
|a Электронное материаловедение
|9 271360
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|n ru
|
| 856 |
7 |
|
|u http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=225936
|
| 999 |
|
|
|c 225936
|d 225936
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1302365К
|7 0
|9 423825
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 1.10
|l 0
|o 1-302365к
|p 13820000685966
|r 2022-03-28
|w 2021-04-04
|y 1
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1300770
|7 0
|9 423826
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 1.10
|l 0
|o 1-300770
|p 13820000656003
|r 2022-03-28
|w 2021-04-04
|y 4
|
