Материаловедение в микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Палатник, Лев Самойлович
Other Authors:	Сорокин, Вадим Константинович
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Москва Энергия 1978
Series:	Электронное материаловедение
Subjects:	микроэлектроника материалы электронной техники полупроводники металлы диэлектрики адсорбция поверхности газов поверхности паров диффузия примеси пленочные материалы резистивные пленки эпитаксиальные пленки твердые тела физика поверхности поверхности раздела атомное строение дефекты кристаллов материаловедение вакуумное планарные технологии монографии
Online Access:	http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items