Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного инноплазменного распыления Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10

Bibliographic Details
Main Author:	Свиркова, Наталья Николаевна
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М. 1997
Subjects:	Физика полупроводников и диэлектриков авторефераты диссертаций.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01665nam a2200241 4500
001	vtls000038103
003	RU-ToGU
005	20230319141128.0
008	091028s1997 ru f m 00\| \| rus d
035			\|a 0040-36260
039		9	\|a 200910282119 \|c 200604110818 \|d VLOAD \|c 200601031227 \|d VLOAD \|y 200511060034 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU \|e PSBO
100	1		\|a Свиркова, Наталья Николаевна. \|9 126965
245	1	0	\|a Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного инноплазменного распыления \|b Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
260			\|a М. \|c 1997 \|9 702824
300			\|a 20 с.
504			\|a Библиогр.: с. 19-20
650		7	\|a Физика полупроводников и диэлектриков \|2 БВАК1995N4 \|9 56418
653			\|a авторефераты диссертаций.
852	4		\|a RU-ToGU \|h 1-821300к \|i 53 \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=22655
999			\|c 22655 \|d 22655
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 1821300К \|7 0 \|9 63879 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2021-04-02 \|g 5000.00 \|l 0 \|o 1-821300к \|p 13820000225057 \|r 2021-04-02 \|t 1 \|w 2021-04-02 \|y 1

Similar Items