Исследование влияния технологических режимов на электрофизические и оптические свойства аморфного гидрогенизированного карбида кремния, получаемого методом высокочастотного инноплазменного распыления Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.
1997
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Call Number: |
1-821300к |
|---|---|
| Available Place a Hold |