Silicon Devices and Process Integration Deep Submicron and Nano-Scale Technologies /

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Springer eBooks
Главный автор: El-Kareh, Badih
Соавтор: SpringerLink (Online service)
Формат: Электронная книга
Язык:English
Публикация: Boston, MA : Springer US, 2009.
Предметы:
Online-ссылка:http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0
Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы