Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique A Manual of Wet-Etched Silicon Structures /
| Опубликовано в: : | Springer e-books |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Соавтор: | |
| Формат: | Электронная книга |
| Язык: | English |
| Публикация: |
Berlin, Heidelberg :
Springer-Verlag Berlin Heidelberg,
2005.
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://dx.doi.org/10.1007/b138230 Перейти в каталог НБ ТГУ |