Кремний - материал наноэлектроники [учебное пособие для вузов по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника"]

Bibliographic Details
Main Author: Герасименко, Николай Николаевич
Other Authors: Пархоменко, Юрий Николаевич
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва Техносфера 2007
Series:Мир материалов и технологий
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 04590nam a2200781 i 4500
001 vtls000344233
003 RU-ToGU
005 20230319175628.0
008 120827s2007 ru a f b 000 0 rusdd
017 |a 07-16098  |b RuMoRKP 
020 |a 9785948361017 
020 |a 5948361017 
020 |a 5948361012 
035 |a (RU-RKP)ru07-024044RKP 
039 9 |a 201208271848  |c 200906051341  |d cat03  |c 200905071353  |d cat02  |c 200905061806  |d cat31  |y 200903121145  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RuMoRKP  |b rus  |c RU-RKP  |d RU-ToGU 
041 0 |a rus 
080 |a 621.315.57-022.532:546.281(075.8) 
080 |a 621.38-022.532::546.281(075.8) 
080 |a 538.971::546.281(075.8) 
084 |a 24.1  |2 rubbkm 
100 1 |a Герасименко, Николай Николаевич  |9 334419 
245 1 0 |a Кремний - материал наноэлектроники  |b [учебное пособие для вузов по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника"]  |c Н. Герасименко, Ю. Пархоменко 
260 |a Москва  |b Техносфера  |c 2007  |9 720266 
300 |a 351 с.  |b ил.  |c 22 см. 
490 1 0 |a Мир материалов и технологий  |v VI-12 
504 |a Библиогр. в конце гл. 
650 7 |a Кремний  |x Кристаллы  |x Выращивание  |2 RuMoRKP  |9 334420 
650 7 |a Наноструктуры (физ.)  |2 RuMoRKP  |9 253005 
650 7 |a наноэлектроника  |2 RuMoRKP  |9 203812 
653 |a наноэлектроника кремниевая 
653 |a монокристаллы кремния 
653 |a ионная имплантация 
653 |a нанокристаллы кремния 
653 |a нанокристаллические пленки 
653 |a наноразмерные структуры 
653 |a синхротронное излучение 
653 |a сканирующая зондовая микроскопия 
653 |a структуры с квантовыми точками 
653 |a нанопроволоки кремния 
653 |a углеродные нанотрубки 
653 |a нанотрубки кремниевые 
653 |a поверхности полупроводников 
653 |a квантовые точки имплантированные 
653 |a кремниевая одноэлектроника 
653 |a квантово-размерные структуры 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a одноэлектронные приборы кремниевые 
653 |a квантование размерное 
653 |a кулоновская блокада 
653 |a атомы примесные 
653 |a кубиты 
653 |a квантовые компьютеры 
653 |a учебные пособия для вузов 
700 1 |a Пархоменко, Юрий Николаевич  |9 334421 
830 |a Мир материалов и технологий  |9 76264 
852 4 |a RU-ToGU  |h 621.3  |i Г37  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=243384 
908 |a учебник 
920 |a 978-5-94836-101-7  |b в пер.  |9 3000 экз. 
999 |c 243384  |d 243384 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Г37  |7 0  |9 429034  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10021  |d 2021-04-04  |g 250.00  |l 1  |m 1  |o 62 Г37  |p 13820000686546  |r 2024-05-13  |s 2023-09-14  |y 5 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1975449К  |7 0  |9 429035  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-04  |g 422.51  |l 0  |o 1-975449к  |p 13820000683210  |r 2021-04-04  |w 2021-04-04  |y 1 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Г37  |7 0  |9 429036  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10023  |d 2021-04-04  |g 422.51  |l 0  |o 62 Г37  |p 13820000683209  |r 2021-04-04  |w 2021-04-04  |y 5 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Г37  |7 0  |9 429037  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10021  |d 2021-04-04  |g 250.00  |l 0  |o 62 Г37  |p 13820000686548  |r 2024-05-13  |t 2  |w 2021-04-04  |y 5 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Г37  |7 0  |9 429038  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10021  |d 2021-04-04  |g 250.00  |l 0  |o 62 Г37  |p 13820000686549  |r 2024-05-13  |t 3  |w 2021-04-04  |y 5 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1975750  |7 0  |9 429039  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-04  |g 250.00  |l 0  |o 1-975750  |p 13820000686550  |r 2021-04-04  |w 2021-04-04  |y 4 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Г37  |7 0  |9 429040  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10021  |d 2021-04-04  |g 250.00  |l 0  |o 62 Г37  |p 13820000686547  |r 2024-05-13  |t 1  |w 2021-04-04  |y 5