Плазменное анодирование физика, техника, применение в микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Пархутик, Виталий Петрович
Other Authors:	Лабунов, Владимир Архипович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Минск Навука i тэхнiка 1990
Subjects:	пленки оксидные плазменное окисление металлов плазменное окисление полупроводников плазма кислородная плазменное анодирование плазменное оксидирование экспериментальные исследования рост пленок оксидных пленки оксидные плазменные, свойства полупроводниковые пленки применение пленок окисдных плазменных в микроэлектронике МОП-транзисторы конденсаторы тонкопленочные
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items