|
|
|
|
| LEADER |
02395nam a2200433 c 4500 |
| 001 |
vtls000523098 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210922032813.0 |
| 008 |
160208s1990 bw a f b 000 0 rus d |
| 020 |
|
|
|a 5343005225
|
| 035 |
|
|
|a to000523098
|
| 039 |
|
9 |
|a 201604071527
|c 201602181612
|d cat29
|c 201602171822
|d cat31
|c 201602101659
|d cat40
|y 201602080854
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.74:621.357.8
|
| 080 |
|
|
|a 631.382.049.772.1:621.793.74
|
| 100 |
1 |
|
|a Пархутик, Виталий Петрович
|9 340500
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Плазменное анодирование
|b физика, техника, применение в микроэлектронике
|c В. П. Пархутик, В. А. Лабунов
|
| 260 |
|
|
|a Минск
|b Навука i тэхнiка
|c 1990
|9 702103
|
| 300 |
|
|
|a 279, [1] с.
|b ил., табл.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 252-276
|
| 653 |
|
|
|a пленки оксидные
|
| 653 |
|
|
|a плазменное окисление металлов
|
| 653 |
|
|
|a плазменное окисление полупроводников
|
| 653 |
|
|
|a плазма кислородная
|
| 653 |
|
|
|a плазменное анодирование
|
| 653 |
|
|
|a плазменное оксидирование
|
| 653 |
|
|
|a экспериментальные исследования
|
| 653 |
|
|
|a рост пленок оксидных
|
| 653 |
|
|
|a пленки оксидные плазменные, свойства
|
| 653 |
|
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 653 |
|
|
|a применение пленок окисдных плазменных в микроэлектронике
|
| 653 |
|
|
|a МОП-транзисторы
|
| 653 |
|
|
|a конденсаторы тонкопленочные
|
| 700 |
1 |
|
|a Лабунов, Владимир Архипович
|9 340501
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=252026
|
| 999 |
|
|
|c 252026
|d 252026
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1747913
|7 0
|9 444801
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 2.80
|l 0
|o 1-747913
|p 13820000911594
|r 2021-04-04
|w 2021-04-04
|y 4
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1751095
|7 0
|9 444802
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 2.80
|l 0
|o 1-751095
|p 13820000919467
|r 2021-04-04
|w 2021-04-04
|y 4
|
