APA (7th ed.) Citation

Берлин, Е. В., & Сейдман, Л. А. (2010). Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Техносфера.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Берлин, Евгений Владимирович, and Лев Александрович Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва: Техносфера, 2010.

MLA (8th ed.) Citation

Берлин, Евгений Владимирович, and Лев Александрович Сейдман. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Техносфера, 2010.