|
|
|
|
| LEADER |
03069nam a2200541 i 4500 |
| 001 |
vtls000403620 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20230319184927.0 |
| 008 |
120830s2010 ru a f b 000 0 rus d |
| 020 |
|
|
|a 9785948362229
|
| 035 |
|
|
|a to000403620
|
| 039 |
|
9 |
|a 201503171137
|c 201208300356
|d VLOAD
|c 201104080845
|d cat03
|c 201104072027
|d cat08
|y 201103241335
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 080 |
|
|
|a 621.791.927.55-022.532:621.382(035.3)
|
| 100 |
1 |
|
|a Берлин, Евгений Владимирович.
|9 370806
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
|c Е. Берлин, Л. Сейдман
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b Техносфера
|c 2010
|9 720266
|
| 300 |
|
|
|a 527 с., [8] л. цв. ил.
|b рис., табл.
|
| 490 |
1 |
|
|a Мир материалов и технологий
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 653 |
|
|
|a справочные руководства
|
| 653 |
|
|
|a тонкопленочные технологии
|
| 653 |
|
|
|a вакуумные плазмохимические процессы
|
| 653 |
|
|
|a электрический пробой
|
| 653 |
|
|
|a катоды магнетронов
|
| 653 |
|
|
|a распыление магнетронное реактивное
|
| 653 |
|
|
|a ионно- плазменные процессы.
|
| 653 |
|
|
|a твердые покрытия
|
| 653 |
|
|
|a тройные химические соединения
|
| 653 |
|
|
|a сораспыление
|
| 653 |
|
|
|a неоднородные магнитные поля.
|
| 653 |
|
|
|a неравномерное нанесение пленки
|
| 653 |
|
|
|a управление процессами распыления
|
| 653 |
|
|
|a структура пленок.
|
| 653 |
|
|
|a управление структурой пленок
|
| 653 |
|
|
|a гистерезисные явления
|
| 653 |
|
|
|a математическое моделирование процессов реактивного распыления
|
| 653 |
|
|
|a вакуумные напылительные установки
|
| 653 |
|
|
|a Caroline D12 A
|
| 653 |
|
|
|a ТСП- источники плазмы
|
| 653 |
|
|
|a установки плазмохимического травления
|
| 700 |
1 |
|
|a Сейдман, Лев Александрович.
|9 370807
|
| 830 |
|
0 |
|a Мир материалов и технологий
|9 76264
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 621.3
|i Б492
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=295655
|
| 999 |
|
|
|c 295655
|d 295655
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1994188К
|7 0
|9 520156
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 550.00
|l 3
|o 1-994188к
|p 13820000765012
|r 2023-03-15
|s 2023-03-15
|w 2021-04-04
|y 1
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 6213_Б492
|7 0
|9 520157
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10005
|d 2021-04-04
|g 550.00
|l 0
|o 621.3 Б492
|p 13820000765011
|r 2023-08-24
|w 2021-04-04
|y 3
|
