Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]

Bibliographic Details
Main Author:	Шевяков, Василий Иванович 1952-
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва МИЭТ 2011
Series:	Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
Subjects:	Интегральные схемы > Металлизация > Учебные издания для высших учебных заведений наноэлектроника металлизация многослойная многоуровневая контакты омические контакты выпрямляющие контакты омические силицидные тепловая устойчивость контактных систем металлизации контактные системы металлизации металлизация многоуровневая
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items