Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"

Bibliographic Details
Main Author:	Громов, Дмитрий Геннадьевич
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва МИЭТ 2011
Series:	Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
Subjects:	Интегральные схемы > Металлизация > Учебные издания для высших учебных заведений интегральные схемы сверхбольшие кремниевые силицидообразующие системы металл-кремний силицидные контактные слои диффузионно-барьерные слои медные многоуровневые межсоединения металлизация многослойная многоуровневая Damascene, технология металлизации интегральных схем
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items