Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок [сборник докладов]
Other Authors: | |
---|---|
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Новосибирск
Наука, Сибирское отделение
1981
|
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Physical Description: | 277 с. ил. |
---|---|
Bibliography: | Библиогр. в конце ст. |