Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
МИЭТ
2011
|
| Series: | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Physical Description: | 59 с. ил. 21 см. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 58 |