Анализ формирования концентрационных полей в титане при имплантации ионов алюминия через осаждаемую на поверхность мишени газо-металлическую пленку

Bibliographic Details
Published in:	Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования № 3. С. 68-71
Corporate Author:	Томский государственный университет Химический факультет Научные подразделения ХФ
Other Authors:	Грекова, Т. С., Геринг, Г. И., Курзина, Ирина Александровна, Шаркеев, Юрий Петрович 1950-, Вершинин, Г. А.
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	концентрационные поля газо-металлические пленки структурно-фазовые превращения имплантация ионов алюминий титан статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000431809 Перейти в каталог НБ ТГУ

Description
Bibliography:	Библиогр.: 9 назв.

Similar Items