Анализ формирования концентрационных полей в титане при имплантации ионов алюминия через осаждаемую на поверхность мишени газо-металлическую пленку

Анализ формирования концентрационных полей в титане при имплантации ионов алюминия через осаждаемую на поверхность мишени газо-металлическую пленку

Bibliographic Details
Published in:Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования № 3. С. 68-71
Corporate Author: Томский государственный университет Химический факультет Научные подразделения ХФ
Other Authors: Грекова, Т. С., Геринг, Г. И., Курзина, Ирина Александровна, Шаркеев, Юрий Петрович 1950-, Вершинин, Г. А.
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
концентрационные поля
газо-металлические пленки
структурно-фазовые превращения
имплантация ионов
алюминий
титан
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000431809
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Similar Items