Библиографическая информация
| Опубликовано в: : | Высокие технологии в промышленности России : (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы XVI Международной научно-технической конференции (Москва, ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2010, 9-11 сентября). Тонкие пленки в электронике : материалы XXIII Международного симпозиума (Москва, ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ" 2010, 9-11 сентября)
С. 185-190 |
|---|
| Другие авторы: |
Войцеховский, Александр Васильевич,
Коханенко, Андрей Павлович,
Коротаев, Александр Григорьевич,
Григорьев, Денис Валерьевич,
Кульчицкий, А. Н.,
Мельников, Александр Александрович доктор физ.-мат. наук |
|---|
| Формат: | Статья в сборнике
|
|---|
| Язык: | Russian |
|---|
| Предметы: |
|
|---|
