Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 211000 "Конструирование и технология электронных средств", 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"]

Bibliographic Details
Main Author: Барыбин, Анатолий Андреевич
Other Authors: Томилин, Виктор Иванович, Шаповалов, Виктор Иванович 1956-
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва Физматлит 2011
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 04732cam a2200745 i 4500
001 vtls000452581
003 RU-ToGU
005 20210922061554.0
008 130614s2011 ru a b 001 0 rus|d
020 |a 9785922113212 
035 |a to000452581 
039 9 |a 201610061226  |c 201406091406  |d cat31  |c 201306211133  |d cat31  |c 201306201658  |d cat31  |y 201306141245  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RuMoRKP  |b rus  |e rcr  |d RuMoRGB  |d RU-ToGU 
041 0 |a rus 
080 |a 621.382.049.77(075.8) 
080 |a 621.382-022.532(075.8) 
080 |a 538.911-022.532:621.382(075.8) 
084 |a В317.1я73-1  |2 rubbk 
084 |a З844-06-1с.я73-1  |2 rubbk 
100 1 |a Барыбин, Анатолий Андреевич  |9 71509 
245 1 0 |a Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники  |b [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 211000 "Конструирование и технология электронных средств", 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"]  |c А. А. Барыбин, В. И. Томилин, В. И. Шаповалов ; под общ. ред. А. А. Барыбина 
260 |a Москва  |b Физматлит  |c 2011  |9 689897 
300 |a 782, [1] с.  |b ил., портр., табл.  |c 22 см 
504 |a Библиогр.: с. 771-772 
504 |a Предм. указ.: с. 773-782 
650 7 |a Электроника  |x Физические основы  |v Учебные издания для высших учебных заведений  |2 nlr_sh  |9 391406 
653 |a электронные технологии 
653 |a фазовые превращения веществ 
653 |a химические превращения веществ 
653 |a управление диффузионными процессами 
653 |a управление кинетическими процессами 
653 |a равновесные процессы 
653 |a неравновесные процессы 
653 |a энтропия 
653 |a законы сохранения энергии 
653 |a второе начало термодинамики 
653 |a Пригожина теорема о минимуме производства энтропии 
653 |a фазовое равновесие 
653 |a химическое равновесие 
653 |a равновесие структурное 
653 |a дефектообразование в кристаллах 
653 |a кристаллические решетки полупроводников 
653 |a электронно-дырочное равновесие полупроводников 
653 |a диффузия атомов в полупроводниках 
653 |a легирование полупроводников диффузионное 
653 |a химическое травление полупроводников 
653 |a термическое окисление полупроводников 
653 |a полупроводники монокристаллические 
653 |a эпитаксиальные методы 
653 |a химический транспорт веществ 
653 |a поверхности полупроводников 
653 |a межфазные взаимодействия полупроводников 
653 |a нанокластеры 
653 |a наноструктурированные материалы 
653 |a золь-гель технологии 
653 |a зародышеобразование тонких пленок 
653 |a арсенид галлия 
700 1 |a Томилин, Виктор Иванович  |9 370150 
700 1 |a Шаповалов, Виктор Иванович  |d 1956-  |9 102044 
852 4 |a RU-ToGU  |h 621.3  |i Б269  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=335005 
908 |a учебник 
999 |c 335005  |d 335005 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 2030392  |7 0  |9 573211  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-04  |g 752.40  |l 0  |o 2-030392  |p 13820000842476  |r 2023-11-20  |w 2021-04-04  |y 1 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62_Б269  |7 0  |9 573212  |a RU-ToGU  |c 10023  |d 2021-04-04  |g 752.40  |l 1  |m 2  |o 62 Б269  |p 13820000842477  |r 2022-03-22  |s 2021-04-10  |y 5