Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления

Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 57, № 7/2. С. 96-101
Main Author: Мокроусов, Геннадий Михайлович
Corporate Authors: Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ, Томский государственный университет Химический факультет Публикации студентов и аспирантов ХФ
Other Authors: Зарубина, Оксана Николаевна, Леоненко, Роман Олегович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
полупроводники
химическое травление
арсенид галлия
кислород
фазовый состав
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516419
Перейти в каталог НБ ТГУ
Description
Bibliography:Библиогр.: 14 назв.
ISSN:0021-3411

Similar Items