|
|
|
|
| LEADER |
02298naa a2200325 c 4500 |
| 001 |
vtls000483264 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20230319195049.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
140713s2013 ru fs 100 0 rus d |
| 035 |
|
|
|a to000483264
|
| 039 |
|
9 |
|a 201407151018
|c 201407131731
|d VLOAD
|y 201407131641
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 100 |
1 |
|
|a Гудымович, Елена Никифоровна
|9 66959
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
|c Е. Н. Гудымович, У. М. Фролова
|
| 653 |
|
|
|a диоксид кремния
|
| 653 |
|
|
|a безрезистное травление
|
| 653 |
|
|
|a фотохимическое травление
|
| 653 |
|
|
|a термическое травление
|
| 653 |
|
|
|a поливиниловый спирт
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в сборниках
|9 879352
|
| 700 |
1 |
|
|a Фролова, Ульяна Михайловна
|9 413459
|
| 710 |
2 |
|
|a Томский государственный университет
|b Химический факультет
|b Кафедра аналитической химии
|9 83086
|
| 710 |
2 |
|
|a Томский государственный университет
|b Химический факультет
|b Публикации студентов и аспирантов ХФ
|9 108563
|
| 773 |
0 |
|
|t Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г.
|d Томск, 2013
|g С. 16-17
|k Труды Томского государственного университета ; т. 291 : Серия общенаучная
|z 9785946214292
|w to000479136
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
7 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000483264
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=356135
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 356135
|d 356135
|
