Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка

Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка

Bibliographic Details
Published in:Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г. С. 16-17
Main Author: Гудымович, Елена Никифоровна
Corporate Authors: Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии, Томский государственный университет Химический факультет Публикации студентов и аспирантов ХФ
Other Authors: Фролова, Ульяна Михайловна
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
диоксид кремния
безрезистное травление
фотохимическое травление
термическое травление
поливиниловый спирт
статьи в сборниках
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000483264
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Similar Items