Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Bibliographic Details
Published in:Известия Самарского научного центра Российской академии наук Т. 16, № 4. С. 672-676
Corporate Author: Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Other Authors: Юрьев, Юрий Николаевич, Кривобоков, Валерий Павлович, Сиделев, Дмитрий Владимирович, Киселева, Дарья Васильевна, Новиков, Вадим Александрович, Михневич, Ксения Сергеевна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
нитрид титана
магнетронное распыление
тонкие пленки
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000501232
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Similar Items