Эллипсометрические методы определения параметров слоисто-неоднородных структур в процессе их образования автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.05
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Саратов
[б. и.]
1983
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Physical Description: | 18 с. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 16-18 |