Кинетика и механизм термического окисления кремния на этапе формирования границы Si-SiO2 автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Воронеж
[б. и.]
1978
|
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number: |
1-475121 |
---|---|
Available Place a Hold |