Академик К. А. Валиев и его научная школа избранные труды

Bibliographic Details
Corporate Author:	Физико-технологический институт(Москва)
Other Authors:	Валиев, Камиль Ахметович 1931-2010
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Наука 2011
Subjects:	Микроэлектроника > Физические основы > Сборники Жидкости > Спектроскопические исследования > Сборники спектроскопия жидкостей ядерный магнитный резонанс интегральные схемы полупроводниковые микроэлектроника полупроводниковая субмикронные процессы фотолитография микротомография акустическая литография электронная рентгенолитография фототравление плазмохимическое травление квантовые компьютеры, физика квантовые вычисления наноэлектроника кремниевая
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	02573cam a2200481 i 4500
001	vtls000546956
003	RU-ToGU
005	20210909185816.0
008	160916s2011 ru ac f b 000 0brus\|d
020			\|a 9785020374928
035			\|a to000546956
039		9	\|a 201609271719 \|c 201609261955 \|d cat02 \|y 201609161327 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RuMoRKP \|b rus \|e rcr \|d RuMoRGB \|d RU-ToGU
041	0		\|a rus
080			\|a 621.38(092)Валиев К. А.(470)
084			\|a З844.1-01с3я43 \|2 rubbk
084			\|a В344.3я43 \|2 rubbk
245	1	0	\|a Академик К. А. Валиев и его научная школа \|b избранные труды \|c Российская акад. наук, Физ.-технол. ин-т
260			\|a Москва \|b Наука \|c 2011 \|9 687664
300			\|a 482, [1] с., [1] л. портр. \|b ил. \|c 25 см
504			\|a Библиогр. в конце ст.
650		7	\|a Микроэлектроника \|x Физические основы \|v Сборники \|2 nlr_sh \|9 456204
650		7	\|a Жидкости \|x Спектроскопические исследования \|v Сборники \|2 nlr_sh1 \|9 456205
653			\|a спектроскопия жидкостей
653			\|a ядерный магнитный резонанс
653			\|a интегральные схемы полупроводниковые
653			\|a микроэлектроника полупроводниковая
653			\|a субмикронные процессы
653			\|a фотолитография
653			\|a микротомография акустическая
653			\|a литография электронная
653			\|a рентгенолитография
653			\|a фототравление
653			\|a плазмохимическое травление
653			\|a квантовые компьютеры, физика
653			\|a квантовые вычисления
653			\|a наноэлектроника кремниевая
700	1		\|a Валиев, Камиль Ахметович \|d 1931-2010 \|9 456206
710	2		\|a Физико-технологический институт(Москва) \|9 456207
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=404580
999			\|c 404580 \|d 404580
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 2022778 \|7 0 \|9 634436 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2021-04-04 \|g 500.00 \|l 0 \|o 2-022778 \|p 13820000937191 \|r 2023-10-16 \|w 2021-04-04 \|y 1

Академик К. А. Валиев и его научная школа избранные труды

Similar Items