|
|
|
|
| LEADER |
02559cam a2200493 i 4500 |
| 001 |
vtls000550571 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210922084000.0 |
| 008 |
161107s2012 ru a f b 000 0 rus|d |
| 020 |
|
|
|a 9785922114066
|
| 035 |
|
|
|a to000550571
|
| 039 |
|
9 |
|a 201612271835
|y 201611071539
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RuMoRKP
|b rus
|e rcr
|d RuMoRGB
|d RU-ToGU
|
| 041 |
0 |
|
|a rus
|
| 080 |
|
|
|a 533.915:546.13
|
| 080 |
|
|
|a 537.525:546.13
|
| 080 |
|
|
|a 533.924:537.311.322
|
| 084 |
|
|
|a Г542.527,07
|2 rubbk
|
| 084 |
|
|
|a В333.24,07
|2 rubbk
|
| 084 |
|
|
|a З844.1-060.14-1,07
|2 rubbk
|
| 100 |
1 |
|
|a Ефремов, Александр Михайлович
|9 456935
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Неравновесная плазма хлора
|b свойства и применение
|c А. М. Ефремов, В. И. Светцов
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b Физматлит
|c 2012
|9 689897
|
| 300 |
|
|
|a 215 с.
|b ил., табл.
|c 22 см
|
| 490 |
1 |
|
|a Фундаментальная и прикладная физика
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 650 |
|
7 |
|a Плазма(физ.) низкотемпературная
|x Кинетика
|2 nlr_sh1
|9 456936
|
| 650 |
|
7 |
|a Газовые разряды в хлоре
|2 nlr_sh1
|9 456937
|
| 650 |
|
7 |
|a Травление
|x Применение в производстве микросхем
|2 nlr_sh1
|9 456938
|
| 653 |
|
|
|a плазменное травление
|
| 653 |
|
|
|a плазма хлора неравновесная низкотемпературная
|
| 653 |
|
|
|a плазменные процессы гетерогенные
|
| 653 |
|
|
|a электронный газ
|
| 653 |
|
|
|a частицы заряженные
|
| 653 |
|
|
|a частицы нейтральные
|
| 653 |
|
|
|a плазмообразующие смеси
|
| 653 |
|
|
|a взаимодействие частиц плазмы с металлами
|
| 653 |
|
|
|a взаимодействие частиц плазмы с полупроводниками
|
| 700 |
1 |
|
|a Светцов, Владимир Иванович
|9 456939
|
| 830 |
|
0 |
|a Фундаментальная и прикладная физика
|9 77879
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 533.9
|i Е924
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=405663
|
| 999 |
|
|
|c 405663
|d 405663
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 2060405
|7 0
|9 635046
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 480.00
|o 2-060405
|p 13820000939522
|r 2024-05-03
|y 1
|
