Неравновесная плазма хлора свойства и применение

Неравновесная плазма хлора свойства и применение

Bibliographic Details
Main Author:	Ефремов, Александр Михайлович
Other Authors:	Светцов, Владимир Иванович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Физматлит 2012
Series:	Фундаментальная и прикладная физика
Subjects:	Плазма(физ.) низкотемпературная > Кинетика Газовые разряды в хлоре Травление > Применение в производстве микросхем плазменное травление плазма хлора неравновесная низкотемпературная плазменные процессы гетерогенные электронный газ частицы заряженные частицы нейтральные плазмообразующие смеси взаимодействие частиц плазмы с металлами взаимодействие частиц плазмы с полупроводниками
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Введение в физику низкотемпературной плазмы учебное пособие по курсу "Физика плазмы"
by: Шаблов, Владимир Леонидович
Published: (2010)

Криогенная плазма газового разряда
by: Антипов, Сергей Николаевич
Published: (2011)

Комплексная и пылевая плазма из лаборатории в космос
Published: (2013)

Комплексная и пылевая плазма из лаборатории в космос
Published: (2012)

От молекул к жизни
by: Грибов, Лев Александрович
Published: (2013)

Селькупская литература материалы и исследования : [сборник]
Published: (2013)

Получение ядерной энергии и редких и драгоценных металлов в результате ядерных превращений ; Энергия связи и потенциальная энергия электрического взаимодействия электрических зарядов в нейтроне, дейтроне, тритии, гелии-3 и гелии-4
by: Ларин, Вячеслав Иванович 1936-
Published: (2013)

Низкотемпературная плазма
by: Овсянников, Анатолий Александрович, et al.
Published: (1994)

Математическое моделирование обтекания тел потоками столкновительной и бесстолкновительной плазмы
by: Котельников, Вадим Алексеевич
Published: (2010)

Принципы разработки высокоинформативных моделей плазменной кинетики
by: Ерофеев, Василий Иванович
Published: (2013)

Влияние короткомасштабного взаимодействия зарядов на корреляционные функции слабо неидеальной плазмы диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.02
by: Табачник, Юрий Викторович
Published: (1988)

Низкотемпературная плазма
by: Пикалов, Валерий Владимирович, et al.
Published: (1995)

Волны в магнитоактивной плазме
by: Гинзбург, Виталий Лазаревич 1916-2009
Published: (2013)

Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы (труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпенратурной плазмы)
Published: (1970)

Квантовая физика и нанотехнологии
by: Неволин, Владимир Кириллович 1941-
Published: (2013)

Радиационные и плазменные технологии терминологический справочник
by: Кривобоков, Валерий Павлович
Published: (2010)

Русский язык в многоречном социокультурном пространстве
Published: (2014)

Тюркские конвербы и сериализация синтаксис, семантика, грамматикализация
by: Гращенков, Павел Валерьевич
Published: (2015)

Когнитивные стратегии и языковые структуры монография
by: Галич, Галина Георгиевна
Published: (2011)

Исследование быстрозакристаллизованных порошков на основе титана и никеля, полученных электроэрозионным диспергированием и возможности их компактирования монография
Published: (2015)

От молекул к жизни
by: Грибов, Лев Александрович
Published: (2012)

Нелинейные явления при распадах разрывов в разреженной плазме
by: Медведев, Юрий Васильевич 1943-
Published: (2012)

Гидразиды и 1,2-диацилгидразины получение, свойства и применение в процессах концентрирования металлов
by: Радушев, Александр Васильевич
Published: (2010)

Энциклопедия аналитических поверхностей [более 500 поверхностей, 38 классов : математикам, инженерам, архитекторам]
by: Кривошапко, Сергей Николаевич 1948-
Published: (2015)

Национальные образы прошлого. Этническая доминанта в историографии и философии истории третьи Санкт-Петербургские чтения по теории, методологии и философии истории, 20-21 апреля 2007 г.
Published: (2008)

Внедоговорные отношения в строительстве и их гражданско-правовая форма монография
by: Ершов, Олег Геннадьевич
Published: (2011)

Академик К. А. Валиев и его научная школа избранные труды
Published: (2011)

Нанотехнология. Коллоидная и супрамолекулярная химия энциклопедический справочник : более 1000 словарных статей, упорядоченных по английским эквивалентам
by: Арсланов, Владимир Валентинович
Published: (2015)

Высокотемпературные свойства металлов атомной энергетики цирконий, гафний и железо при плавлении и в жидком состоянии
by: Савватимский, Александр Иванович
Published: (2012)

Теория плазмы [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Техническая физика"]
by: Рожанский, Владимир Александрович
Published: (2012)

Новейшая физическая терминология: нанотехнологии краткий словарь
by: Ваулина, Екатерина Юрьевна
Published: (2014)

Решение задач из курса аналитической геометрии и линейной алгебры
by: Беклемишев, Дмитрий Владимирович 1930-
Published: (2014)

Токамак: начальная стадия разряда [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки "Прикладные математика и физика"]
Published: (2014)

Частицы и атомные ядра задачи с решениями и комментариями : [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки 011200 - Физика и специальности 010701 - Физика]
by: Гончарова, Наталья Георгиевна
Published: (2013)

Русский традиционализм история, идеология, поэтика, литературная рефлексия : монография
Published: (2016)

Научные труды
by: Иванов, Андрей Акимович 1939-2008
Published: (2012)

Химические реакции сахаридов и полиолов в растворах. Электрохимические методы исследования
by: Рувинский, Овсей Евелевич
Published: (2010)

Писатели современной арабской литературы Египта (XX век)
by: Зайнуллин, Габдулзямиль Габдулхакович
Published: (2012)

Холодная неравновесная плазма: генерация, свойства, области применения
by: Протасевич, Евгений Трофимович 1943-2004
Published: (1997)

Квантовая физика и нанотехнологии
by: Неволин, Владимир Кириллович 1941-
Published: (2011)