Источник ионов на основе вакуумного дугового и тлеющего разрядов для модификации поверхности полимерных материалов
Представляются результаты исследования источника, генерирующего пучки ионов газов и металлов, для модификации поверхностных свойств органических полимеров. В качестве основы данного устройства применялся вакуумно-дуговой источник ионов металлов Mevva-5.Ru. Для получения пучков ионов аргона был реали...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 9/3. С. 135-139 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000577411 |