Техническая механика микросистем учебное пособие : [для студентов вузов по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"

Bibliographic Details
Other Authors: Тимофеев, Владимир Николаевич, Погалов, Анатолий Иванович, Угольников, Сергей Викторович
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2014
Edition:2-е изд.
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 03361nam a2200529 i 4500
001 vtls000581504
003 RU-ToGU
005 20210922092450.0
008 170906s2014 ru a b 000 0 rus d
020 |a 9785996306367 
035 |a to000581504 
039 9 |a 201711011805  |c 201709111508  |d cat40  |c 201709111241  |d cat20  |c 201709061224  |d cat33  |y 201709061221  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
080 |a 621.382:539.3(075.8) 
080 |a 621.382:534.12.014.1/.2(075.8) 
245 1 0 |a Техническая механика микросистем  |b учебное пособие : [для студентов вузов по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"  |c Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В. и др.] ; под ред. В. Н. Тимофеева ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)] 
250 |a 2-е изд. 
260 |a Москва  |b БИНОМ. Лаборатория знаний  |c 2014  |9 703383 
300 |a 176 с.  |b ил., табл. 
500 |a Авт. указ. на обороте тит. л. 
504 |a Библиогр.: с. 173-174 
653 |a колебания механических систем 
653 |a колебания гармонические 
653 |a колебания собственные 
653 |a колебания вынужденные 
653 |a напряженно-деформированные состояния 
653 |a несущие элементы приборов 
653 |a микромеханические приборы 
653 |a пластины 
653 |a балочные опоры 
653 |a демпфирование колебаний 
653 |a электромеханика микросистем 
653 |a датчики давления 
653 |a микроакселерометры 
653 |a гироскопы микромеханические 
653 |a зеркало микромеханическое с карданным подвесом 
653 |a микросистемные устройства 
653 |a инженерный анализ 
700 1 |a Тимофеев, Владимир Николаевич  |9 125220 
700 1 |a Погалов, Анатолий Иванович  |9 378377 
700 1 |a Угольников, Сергей Викторович  |9 378378 
852 4 |a RU-ToGU  |h 621.3  |i Т382  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=425766 
908 |a учебник 
999 |c 425766  |d 425766 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 6213_Т382  |7 0  |9 645567  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10005  |d 2021-04-05  |g 253.00  |l 0  |o 621.3 Т382  |p 13820000959879  |r 2023-08-24  |t 1  |w 2021-04-05  |y 9 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 6213_Т382  |7 0  |9 645568  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10005  |d 2021-04-05  |g 253.00  |l 0  |o 621.3 Т382  |p 13820000959880  |r 2023-08-24  |t 2  |w 2021-04-05  |y 3