Bibliographic Details
Published in: | Вакуумная техника, материалы и технология : материалы X международной научно-технической конференции (Москва, КВЦ "Сокольники", 2015, 14-16 апреля)
С. 243-248 |
Other Authors: |
Кульчицкий, Николай Александрович,
Войцеховский, Александр Васильевич,
Несмелов, Сергей Николаевич,
Коханенко, Андрей Павлович,
Лозовой, Кирилл Александрович,
Мельников, Александр Александрович доктор физ.-мат. наук |
Format: | Book Chapter
|
Language: | Russian |
Subjects: |
|
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000617825
|