APA Цитирование

Захаров, А. Н., Соловьев, А. А., & Сочугов, Н. С. Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом. Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых), 0180-46460(Томск, 2002), .

Chicago-стиль цитирования

Захаров, А. Н., Андрей Александрович Соловьев, and Н. С Сочугов. "Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом." Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых) 0180-46460, no. Томск, 2002 ().

MLA-цитирование

Захаров, А. Н., et al. "Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом." Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых), vol. 0180-46460, no. Томск, 2002, .