Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
| Published in: | Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых) С. 158-161 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: |