Моделирование перерасперделения частиц плазмы в цилиндрической камере магнетронной установки

Моделирование перерасперделения частиц плазмы в цилиндрической камере магнетронной установки

Bibliographic Details
Published in:Сборник тезисов участников форума "Наука будущего - наука молодых" : III Всероссийский научный форум, 12 сентября - 14 сентября 2017 года, г. Нижний Новгород С. 607-608
Main Author: Сайфуллин, Эльмир Равильевич
Format: Book Chapter
Language:Russian
Subjects:
плазма
технологические процессы
частицы плазмы
управление
оптимизация
вычислительные эксперименты
прогностические модели
цилиндрическая камера
магнетронное распыление
статьи в сборниках
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000632781
Перейти в каталог НБ ТГУ
Description
Bibliography:Библиогр.: 10 назв.
ISBN:9785990723672

Similar Items