Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
[б. и.]
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Call Number: |
2-035053 2-035054 |
|---|---|
| Available Place a Hold | |
| Available Place a Hold |