Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме
В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых, непрозрачных и тонких, полупрозрачных пленок железа, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отраж...
| Published in: | Фундаментальные проблемы современного материаловедения Т. 12, № 3. С. 338-345 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000671649 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 04367nab a2200385 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000671649 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20240227172845.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 191210|2015 ru s c rus d | ||
| 035 | |a to000671649 | ||
| 039 | 9 | |a 201912131823 |b 100 |c 201912101113 |d VLOAD |y 201912101106 |z Александр Эльверович Гилязов | |
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок железа, полученных методом термического испарения в вакууме |c В. А. Кочубей, В. В. Атучин, Л. Д. Покровский [и др.] |
| 504 | |a Библиогр.: 21 назв. | ||
| 520 | 3 | |a В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых, непрозрачных и тонких, полупрозрачных пленок железа, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отражение показали, что поверхностный слой пленок железа является мелкокристаллическим поликристаллом железа (пр. группа симметрии Im3m) с выраженной текстурой. Кроме того, установлено присутствие очень слабой примеси кристаллов Fe2O3 (пр. группа симметрии Ia3). Методом атомной силовой микроскопии установлено, что поверхность пленок железа на кремнии является оптически гладкой с максимальным размером шероховатостей не превышающим 12-15 нм. Исследования оптических свойств пленок железа методом спектральной эллипсометрии позволили получить дисперсионные кривые показателя преломления, n(λ), и коэффициента поглощения, k(λ), в диапазоне длин волн λ = 250-1100 нм, как для толстых, так и для тонких пленок. Спектральные зависимости n(l) и k(l) пленок обоих типов оказались близки и качественно соответствовали типичным кривым n(l) и k(l) для металлов. Толщина полупрозрачных пленок измерялась методом лазерной эллисометрии на длине волны λ = 632,8 нм. | |
| 653 | |a пленки железа | ||
| 653 | |a термическое испарение | ||
| 653 | |a микрорельеф | ||
| 653 | |a кристаллическая структура | ||
| 653 | |a оптические свойства | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 879358 | |
| 700 | 1 | |a Атучин, Виктор Валерьевич |9 90599 | |
| 700 | 1 | |a Покровский, Лев Дмитриевич |9 493976 | |
| 700 | 1 | |a Солдатенков, Иван Степанович |9 493977 | |
| 700 | 1 | |a Троицкая, Ирина Баязитовна |9 493978 | |
| 700 | 1 | |a Кожухов, Антон Сергеевич |9 296632 | |
| 700 | 1 | |a Кручинин, Владимир Николаевич |9 94828 | |
| 700 | 1 | |a Кочубей, Василий Александрович |9 493979 | |
| 773 | 0 | |t Фундаментальные проблемы современного материаловедения |d 2015 |g Т. 12, № 3. С. 338-345 |x 1811-1416 |w 0210-45460 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000671649 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=452732 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 452732 |d 452732 | ||