Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок

Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 7. С. 52-57
Other Authors:	Сачков, Виктор Иванович, Сосновский, Сергей Александрович, Жек, Валентина Владимировна, Малиновская, Татьяна Дмитриевна 1951-
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	магнетронное распыление оксидные мишени термодинамическое моделирование оксид индия оксид диспрозия статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661206 Перейти в каталог НБ ТГУ