Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок
Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 7. С. 52-57 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661206 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02796nab a2200361 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000661206 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20240702151711.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 190820|2018 ru s c rus d | ||
| 035 | |a to000661206 | ||
| 039 | 9 | |a 201908261409 |b 100 |c 201908201358 |d VLOAD |y 201908201343 |z Александр Эльверович Гилязов | |
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок |c Т. Д. Малиновская, В. И. Сачков, С. А. Сосновский, В. В. Жек |
| 504 | |a Библиогр.: 6 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy2O3, DyInO3. Для проведения термодинамического анализа равновесных составов при магнетронном напылении пленок была использована универсальная программа TЕRRA. | |
| 653 | |a магнетронное распыление | ||
| 653 | |a оксидные мишени | ||
| 653 | |a термодинамическое моделирование | ||
| 653 | |a оксид индия | ||
| 653 | |a оксид диспрозия | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 879358 | |
| 700 | 1 | |a Сачков, Виктор Иванович |9 80269 | |
| 700 | 1 | |a Сосновский, Сергей Александрович |9 91861 | |
| 700 | 1 | |a Жек, Валентина Владимировна |9 99102 | |
| 700 | 1 | |a Малиновская, Татьяна Дмитриевна |d 1951- |9 83758 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2018 |g Т. 61, № 7. С. 52-57 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661206 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=459619 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 459619 |d 459619 | ||