Формирование пористого кремния методами металл-стимулированного химического травления и электрохимического травления
| Published in: | International Workshop "Multiscale Biomechanics and Tribology of Inorganic and Organic Systems" ; Международная конференция "Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций" ; VIII Всероссийская научно-практическая конференция с международным участием, посвященная 50-летию основания Института химии нефти "Добыча, подготовка, транспорт нефти и газа" : тезисы докладов С. 445-446 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000668903 |