|
|
|
|
| LEADER |
03523nab a2200361 c 4500 |
| 001 |
vtls000675135 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20241104202747.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
200210|2019 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/62/11/143
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a to000675135
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики
|c А. С. Гренадёров, К. В. Оскомов, А. А. Соловьев [и др.]
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 21 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. Исследовались физико-механические и оптические свойства пленок для использования в качестве антиотражающих и защитных покрытий в устройствах ИК-оптики. Прозрачность пленок в диапазоне длин волн 2.5-8 мкм измерялась методом инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура и состав пленок изучались методами рамановской и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок определялись с помощью наноиндентирования. Показано, что двухстороннее нанесение a-C:H:SiO x -пленок на Si-пластины позволяет повысить их интегральную пропускную способность в области длин волн 3-5 мкм с 50 до 87 %. При этом пленки обладают отличными механическими характеристиками, термостойкостью в диапазоне температур от комнатной до 500 °С и стойкостью к водным растворам соли.
|
| 653 |
|
|
|a антиотражающие покрытия
|
| 653 |
|
|
|a защитные покрытия
|
| 653 |
|
|
|a ИК-диапазон
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимический синтез
|
| 653 |
|
|
|a оптические свойства
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскомов, Константин Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьев, Андрей Александрович
|
| 700 |
1 |
|
|a Селиванова, Александра Васильевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Конищев, Максим Евгеньевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Гренадеров, Александр Сергеевич
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2019
|g Т. 62, № 11. С. 143-150
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000675135
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 463101
|d 463101
|
