Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления

Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления

Приводятся результаты экспериментального исследования разряда, формируемого дуальной (DU) магнетронной распылительной системой (МРС) с алюминиевыми мишенями в режиме пакетно-импульсного магнетронного распыления высокой мощности (Deep Oscillation Magnetron Sputtering – DOMS). Особенностью питания раз...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 7. С. 89-96
Other Authors: Захаров, Александр Николаевич, Павлов, Артем Павлович, Работкин, Сергей Викторович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
дуальная магнетронная распылительная система
реактивное магнетронное распыление
пакетно-импульсное магнетронное распыление высокой мощности
сильноточное импульсное магнетронное распыление
статьи в журналах
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674387

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674387

Similar Items