Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления

Приводятся результаты экспериментального исследования разряда, формируемого дуальной (DU) магнетронной распылительной системой (МРС) с алюминиевыми мишенями в режиме пакетно-импульсного магнетронного распыления высокой мощности (Deep Oscillation Magnetron Sputtering – DOMS). Особенностью питания раз...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 7. С. 89-96
Другие авторы: Захаров, Александр Николаевич, Павлов, Артем Павлович, Работкин, Сергей Викторович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674387

Похожие документы