Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления
Приводятся результаты экспериментального исследования разряда, формируемого дуальной (DU) магнетронной распылительной системой (МРС) с алюминиевыми мишенями в режиме пакетно-импульсного магнетронного распыления высокой мощности (Deep Oscillation Magnetron Sputtering – DOMS). Особенностью питания раз...
Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 7. С. 89-96 |
---|---|
Другие авторы: | Захаров, Александр Николаевич, Павлов, Артем Павлович, Работкин, Сергей Викторович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович |
Формат: | Статья в журнале |
Язык: | Russian |
Предметы: | |
Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674387 |
Похожие документы
-
Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
по: Кузьминов, Евгений Дмитриевич -
Surface modification of polymer scaffolds by reactive magnetron sputtering controls the release of an incorporated drug
по: Fayt, A. O. - Structure and optical-mechanical properties of the Zr-Y-O coatings deposited by pulse magnetron sputtering on optical glass
- Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
-
Surface modification of PLLA scaffolds by reactive magnetron sputtering controls the release of an incorporated drug
по: Volokhova, Apollinariya A.