Распределение концентрации имплантируемой примеси при обработке поверхности последовательными импульсами
Рассмотрено математическое моделирование начальной стадии поверхностной обработки материала потоком частиц с использованием двух последовательных импульсов. Описана математическая постановка задачи в размерных и безразмерных переменных. Модель учитывает конечность времен релаксации потоков тепла и...
| Published in: | Вестник Томского государственного университета. Математика и механика № 62. С. 105-118 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000675423 Перейти в каталог НБ ТГУ |