Морфология, структура и оптические свойства пленок SNO(x)
Представлены морфологические, структурные и оптические свойства наноструктурированных пленок SnO(x), полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии осаждением олова в потоке кислорода на окисленной подложке кремния в зависимости от температуры отжига синтезированной структуры. Установлено влия...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 2. С. 85-90 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000708755 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Summary: | Представлены морфологические, структурные и оптические свойства наноструктурированных пленок SnO(x), полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии осаждением олова в потоке кислорода на окисленной подложке кремния в зависимости от температуры отжига синтезированной структуры. Установлено влияние температуры отжига на структурное и фазовое состояние пленок. Орторомбическая фаза SnO2 наблюдалась после отжига на воздухе при 500 °C. Увеличение температуры отжига до 800 °C приводит к появлению небольшой доли тетрагональной фазы SnO2. Показано влияние кристаллической структуры на оптические свойства пленок оксидов олова. Методом эллипсометрии обнаружено резкое изменение оптических констант пленки вблизи температуры отжига 500 °C. Наблюдаемая широкая полоса поглощения в диапазоне 1.9-3.4 эВ, по-видимому, связана с незначительным (примерно 1 %) количеством неокисленных металлических кластеров Sn. Наблюдается широкая область фотолюминесценции в диапазоне 450-850 нм с максимумом при ~ 600 нм. Увеличение температуры отжига с 500 до 800 °С приводит к увеличению ее интенсивности почти в 6 раз. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 24 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Access: | Ограниченный доступ |